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流量計(jì)廠家來(lái)給大家說(shuō)一說(shuō) 熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)發(fā)展過(guò)程！目前全球使用較多的熱式氣體質(zhì)流量計(jì)可分為兩大類(lèi)，，一類(lèi)是金氏 (King)定律原理的熱式氣體流量計(jì);另一類(lèi)是量熱式氣體流量計(jì)或毛細(xì)管熱式氣體流量計(jì)。14年物理學(xué)家L，Kir發(fā)表了著名的熱線風(fēng)速學(xué)H體流量計(jì)，實(shí)驗(yàn)和理論結(jié)果。論證了根電熱的熱線在流體中可根據(jù)其功羊的變化測(cè)量該熱線位置處流體與壓力和溫度無(wú)關(guān)的質(zhì)量流速。這理論和實(shí)驗(yàn)結(jié)果被稱(chēng)為金氏定律(Kings Lav.但此后多年，這一原理僅限 于理論研究。20 世紀(jì)初提出的托馬斯流量計(jì)直接將加熱線圈和測(cè)溫元件放人流體與流體直接接觸，由于不能解決腐蝕、磨損及防爆問(wèn)題，限制了它的工業(yè)應(yīng)用推廣;到了20世紀(jì)50年代，人們又提出了一種與流體不接觸的邊界層流量計(jì)克服了上述缺點(diǎn)，但測(cè)量結(jié)果易受介質(zhì)參數(shù)( 如導(dǎo)熱系數(shù)、比熱容、黏度等)的影響，不能實(shí)現(xiàn)精確測(cè)量。直到1960年初期，由于美國(guó)加州石油開(kāi)采需要，Mac McQueen及Bob Deane采用了類(lèi)似的熱式測(cè)量原理發(fā)明了熱式流量開(kāi)關(guān)用于測(cè)量石油及混合物的流態(tài)，并因此創(chuàng)辦了Fluid Component Intermational (FCD) 公司，使得這一原理的產(chǎn)品得以面世， 并在此基礎(chǔ)上開(kāi)發(fā)了用于測(cè)量氣體和液體的流量計(jì)。在差不多相同的時(shí)間，美國(guó)斯坦福大學(xué)的兩個(gè)研究生John 0lin及Jery Kurz為了更好地測(cè)量流體中的流態(tài)，采用了立于1959年的Them-Systens, Ine. (7S) 生產(chǎn)的用于實(shí)驗(yàn)室研究的熱線傳感器，并作了大量的改進(jìn)，以更精確地測(cè)量氣體的流速。Olim 及Kum在畢業(yè)后均效力IsI.幾年后，他們于1973年在美國(guó)明尼蘇達(dá)州成立了Ser laoea lme專(zhuān)門(mén)生產(chǎn)熱式質(zhì)最流量計(jì)及空氣質(zhì)量測(cè)量的產(chǎn)品。該公司后來(lái)搬移到加利福尼亞，其中部分再分離成立了Kurz Instruments,Inc.。這些公司均成為現(xiàn)在熱式質(zhì)質(zhì)量流量計(jì)的主要生生產(chǎn)商。 采用這一原理為基礎(chǔ)的氣體質(zhì)量流量計(jì)大多用于大管徑或開(kāi)放空間氣體質(zhì)量流量的計(jì)計(jì)量或測(cè)控。量熱式的熱式流量計(jì)同樣起始于201世紀(jì)60 年代。隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展，對(duì)于氣體TylanIstrument公司開(kāi)發(fā)了第一臺(tái)采用毛細(xì)管流量特別是小流量的控制需求激增。美國(guó)用于半導(dǎo)導(dǎo)體氣相沉積的測(cè)量和控制。這類(lèi)旁通旁通量熱式熱式質(zhì)量流量計(jì)并帶有控制網(wǎng)其傳感器也可采用金氏定律的原理。雖然式的熱式質(zhì)量流量計(jì)或質(zhì)量流量控制器的設(shè)計(jì)，(1in =2.54cm)也采用了毛細(xì)管熱式質(zhì)量流量測(cè)量原理，但通有的流量計(jì)的管徑在8in，以下的相對(duì)較小的流的測(cè)試和控制。常這一原理均用于管徑在1in以下的相對(duì)較小的流量的測(cè)試和控制。